第(1/3)页 三天后。 魔都。 仪表厂有机化学实验室,化工车间。 镜头有了,干涉仪有了。 但光刻工艺里,还有一个最要命的耗材。 光刻胶。 老雷从武田电子带回来的G线光刻胶工艺。 金属离子杂质,必须低于ppb级。 也就是十亿分之一。 听起来像小数点后面很远的事。 可在硅片上,哪怕一点点污染,都可能让线路短路,整片晶圆直接报废。 林希和红星科技化工专家吴长青赶到实验楼时,还没推开车间大门,隔着走廊就闻到一股刺鼻味道。 酸,辣,臭,呛。 不是炒菜的呛。 是那种吸一口,鼻腔黏膜都像被刮了一层的化学药剂味。 吴长青脚步慢了半拍,眉头当场皱紧。 “强酸环境。” 他压低声音。 “排风不够,有毒气体肯定超标了。” 林希没答话,直接推开车间门。 排风扇在头顶轰鸣。 锈迹斑斑的扇叶每转一圈,都发出刺耳的吱呀声,像随时会散架。 车间中央的操作台前,一个瘦小的老高工正弓着腰。 他穿着厚重防化服,脸上扣着一只军绿色老式防毒面具。 老头正在用国内最原始、也最危险的办法提纯光刻胶。 强酸络合洗涤。 负压蒸馏。 这套办法,说白了,就是设备不够,人来补。 他的右手扣着一个铜阀门,只敢一点一点往回带。 左手举着一根玻璃水银温度计,眼睛贴在刻度线上,连眨眼都不敢太用力。 操作台下面,散着几团揉成球的纱布。 纱布上有暗红色血迹。 突然,老高工猛地咳了起来。 声音又沉又闷。 隔着防毒面具,像肺里有什么东西在磨。 他没有退半步,只是随手扯下脖子上的毛巾,捂住呼吸阀。 面具边缘,渗出一丝浓烈的血腥气。 “谁?” 老头没回头,声音沙哑。 “这儿有毒,外人别进来。” 吴长青走上前,亮出工作证。 “红星科技,吴长青。” “这位是红星科技副总,林希。” “我们来看光刻胶进展。” 老高工扭过头。 护目镜片后面,那双被熏得发红的眼睛扫了他们一眼。 “看?” “有什么好看的。” 他把温度计举高了些,继续盯着汞柱顶端。 “负压蒸馏到第三遍了。” 第(1/3)页